周思毅最後介紹說，超透鏡對於光刻技術有著極大的推進作用。

超透鏡說白了和相控陣雷達很相似，都是由無數個小單元組成，經計算機處理合成成像，原理都差不多。

國內有一流的相控陣雷達（如J.20相控陣雷達、航母四面陣雷達），也將有一流的超透鏡。

有了技術成熟的超透鏡，國內就可以實現從第二代DUV光刻機向第四代超透鏡光刻機的技術跨越。

“周院長，恭喜你們！你們這個專案取得了重大突破，是非常有意義的一件事情。

之前在EUV光刻機的研發過程中，物鏡系統就是最大的攔路虎。儘管光機所已經完成了這個子項的研發，但進度也延遲了太長的時間，使得總體專案最起碼拖後了兩三年。”

蕭白聽完，也不禁感慨了一番。

物鏡系統的關鍵是光學鏡頭，而這一塊，國內的技術水平和國際巨頭們相差較大。

尼康和佳能本身就是光學鏡頭的頂尖製造商，所以他們在光刻機方面曾經領先了很多年。而阿斯麥生產的光刻機，則採用了卡爾蔡司的光學鏡頭，在技術上也有保障。

浦東微電子裝置由於進口受限，很多關鍵的零部件都沒辦法進行採購，只能寄希望於國產。

這才是國內組織多家科研院所，參與到EUV光刻機的研發過程中的主要原因。

但在超透鏡方面，大家的起點是一樣的。

國內目前已經基本上攻克了光刻機的光源系統和對準系統，只要有了一流的超透鏡，那麼在第四代光刻機這個賽道上，就不至於掉隊。

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